真空泵的类型和性能参数

　　真空泵大致有机械真空泵、蒸气流泵、吸气剂泵、离子泵以及低温泵五种类型：

　　(1)机械真空泵。它是利用机械运动(转动或滑动)的方法获得真空的，其抽气过程是基于工作室的容积周期性变化，故也称为容积泵。有往复式机械真空泵、油封机械真空泵和罗茨真空泵。

　　(2)蒸气流泵。它是利用高速蒸气流来获得真空的，它的抽气过程是基于高速定向运动的蒸气流与被抽气体分子进行能量交换而达到抽除气体的目的。

　　(3)吸气剂泵。它是利用化学反应的方法获得真空的，其抽气过程是基于吸气金属或合金(吸气剂)与某些气体的化学反应。有钛升华泵、锆铝吸气泵。

　　(4)离子泵。它是依靠气体分子电离和化学吸附的方法来获得真空的。有升华离子泵、静电离子泵、溅射离子泵等。抽气过程是利用高速电子使气体分子电离，再借助电场力的作用，使离子达到活性表面、吸气金属表面或沉积有吸气金属膜的泵壁表面，达到排除气体的目的。

　　(5)低温泵。它是利用低温冷凝和吸附的方法获得真空的，抽气过程基于深冷多孔性表面对气体的冷凝与吸附。有低温吸附泵、氦闭循环制冷机低温泵等。

　　以上机械真空泵、蒸气流泵两类属于“有油”类真空泵。它们是把被抽容器的气体直接抽出泵外。吸气剂泵、离子泵、低温泵类属“无油”类真空泵，它们是把被抽气体暂时或永久地保存于    通常用以下参数来表征真空泵的工作特性：

　　(1)极限压强。在没有气体漏人泵内时，经过相当长时间的抽气后，泵的人口处所能达到的稳定的最低压强。

　　(2)抽气速率。在某一压强下，单位时间内流过泵进气口截面的气体体积。

　　(3)最大入口压强。泵在开始工作前，被抽容器中所具有的压强。

　　(4)最大反压强。在不破坏真空泵的正常工作时，泵出口处所能承受的最大压强。

　　(5)真空产生率。单位时间内泵自容器中所排除的气体质量。

　　(6)压缩比。真空泵的出口压强与它的人口压强的比值。

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