真空泵泵常见的真空抽取技术的种类

　　1.机械法

　　①变容真空泵，它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。这种泵分为往复式及旋转式两种。往复式真空泵、旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵、液环真空泵、干式真空泵、罗茨真空泵属于这一类。

　　②动量传输泵，它依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。分子真空泵水蒸汽喷射泵、扩散泵属于这一类。

　　2.物理法

　　气体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵，可分为以下几种形式。

　　①吸附泵。它是依靠具有大表面积的吸附剂(如多孔物质)的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。例如分子筛吸附泵。

　　②吸气剂泵。它是一种利用吸气剂以化学方式捕获气体的真空泵。吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。例如，钛升华泵和锆铝吸气泵属于这种类型。

　　③吸气剂离子泵。它是使被电离的气体通过电场或电磁场的作用吸附在吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。它有如下两种形式。

　　a．蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华(或蒸发)而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。例如，轨旋式离子泵(或称弹道式钛泵)。

　　b．溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅散出来的吸气材料上以实现抽气目的的一种真空泵。

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