制冷机低温泵的工作原理

　　制冷机低温泵将低温面、挡板组装在封闭循环的低温制冷机系统中，与制冷机组合为一体，尤其近年来，随着可靠性高的小型制冷机商品化，使用带小型制冷机的低温泵越来越多。随着研究趋势向抽速大、抽气时间短和压强低的方向发展，制冷机低温泵技术更具有重要意义：

　　①可以实现抽气系统完全自动化，便于在真空工艺过程中集中控制。

　　②结构尤其适宜于S≥10m3/s系统。

　　③可实现较高的抽速，可达S≥100m3/s，满足大型真空设备的需要。

　　封闭循环小型制冷机低温泵由低温泵体、抽气低温板、辐射屏蔽板、制冷机和压缩机等部分组成。所选用的制冷机是两级制冷，其制冷能力为：第一级为80K，50～80W；第二级为20K，1．5～10W，在无负荷时，最低温度达到10K。制冷机的一、二级冷头分别与辐射屏和低温板相连，低温板温度如达到15～20K，大部分气体都能冷凝，可达到抽气目的。

　　制冷机低温泵的制冷机一、二级冷头直接和辐射屏、冷板相连，在制冷机与压缩机连接管路中流动的是常温、高(或低)压气体介质，不存在低温介质的输送问题，是目前比较理想的清洁超高真空泵。这种低温泵广泛用于薄膜制备、微电子学技术、高能物理、小型环境模拟设备以及其他各个工业领域。为得到超高真空，必须抽除氦、氖、氢等气体，在低温板上涂吸附剂加活性炭等即可达到此目的。

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