油扩散泵的使用操作规程

　　油扩散泵的操作包括开泵、停泵两个做要得动作。

　　(1)油扩散泵的开泵顺序

　　①接通扩散泵的冷却水，用机械泵预抽真空，在扩散泵人口压力低于10-1Pa后，接通扩散泵加热电炉的电源，对扩散泵加热。

　　②对于K-400以下的小泵，加热45min后泵可正常工作，K-500～K-1200的大泵，需加热45～65min后才能正常工作。因此，在使用扩散泵真空系统时，应注意安排好扩散泵的启动时间。

　　③打开扩散泵人口阀门，泵即可正常工作。

　　(2)油扩散泵的停泵顺序

　　①关闭扩散泵人口高真空阀门和真空计的电源。

　　②切断扩散泵加热电源，机械泵继续工作。

　　③再工作30min(小泵)到2h(大泵)以后，关闭扩散泵与机械泵之间的阀门，停止机械泵工作，并向机械泵内放人空气(如果机械泵入口装有电磁放气阀，在切断机械泵电源后，会因电气连锁而自动放气)。

　　④当泵的油锅温度接近50～60℃后，关闭扩散泵的冷却水。

　　⑤为加快扩散泵冷却，可以卸下电炉，采用喷淋水的方法冷却。现代大型扩散泵都在油锅外壁设有急冷水管(或套)，泵正常工作时不通水，切断电源时通水急冷。

　　(3)操作注意事项

　　①扩散泵内油温较高时，不允许放人大气，以防泵油氧化变质，影响正常工作。停泵时应保持泵内处于真空状态。

　　②长期停泵时，水冷管(套)内的冷却水应放尽，并用压缩空气吹干。

　　③机械泵停止工作同时从泵入口放气，以免机械泵油流入扩散泵内。现代扩散泵机组都设计有电磁放气阀，停泵时自动放气。

　　④扩散泵正常工作后，才可以打开人口高真空阀，停泵时先关高真空阀，以减少返流泵油，避免污染被抽容器。

　　⑤应确认冷却水畅通，泵内真空度大于1Pa时才能对扩散泵加热。定期检查泵油，及时加注或更换油。

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