调试好的新泵可直接接入真空系统工作。旧泵或长期放置的新泵，在接入真空系统前，应对泵中零件进行清洁处理，并换油。
①除去泵芯表面和泵壁上的杂质和各种油污。
②用丙酮、四氯化碳或干净汽油擦洗各零体和泵内壁表面，玻璃油扩散泵用重铬酸钾洗液清洗。保持周围环境清洁，无灰尘，然后用热风吹干。
③按顺序将泵芯装入泵体内，调整好各级喷嘴间隙，然后按规定数量加足泵油，可根据经验测量油层深度，一般约1～2cm深即可。
④检查加热电炉的电炉丝是否烧断、短路，电炉的绝缘性能、保温性能是否良好。
⑤检查水冷管(或水冷套)是否漏水、堵塞，要求水路畅通，水量充足。
⑥将泵接入真空系统，并对系统进行检漏，要求系统漏气率在允许范围内。
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