气动增压泵的特点和故障分析

气动增压泵的特点和故障分析

　　气动增压泵结构紧凑、增压比高、无油、无需电驱动，因此某些半导体设备选择使用增压泵。在要求气量大、压强高的情况下，气动增压泵有着明显的优势。

　　气动增压泵一旦出现故障，该设备就不能使用了。这些设备大多用的是进口气动增压泵，要购买新泵价格高、周期长，因此接下来介绍气动增压泵原理及故障分析。

　　1.气动增压泵原理和特点

　　气动增压泵可分为气动气体增压泵和气动液体

　　增压泵，它们具有许多的共性，但是也有一些差别，比如它们的单向阀结构不一样，气体和液体的可压缩性不同，另外气动液体增压泵的增压缸活塞常使用柱塞。增压气缸在压缩行程结束时有一个不能排出的气体容积，被称作余隙容积，它是由增压泵增压气缸的结构决定的。在吸气行程中余隙容积的气体压强要降到进气口压强，这导致吸入的新气体减少。

　　(1)停机压强正比于压缩空气压强，因此，改变驱动空气压强，即可改变停机压强。

　　(2)气动增压泵可以持续地长时间保持停机压强，这时基本上不消耗动力源的能量，不会引起发热。

　　(3)使用压缩空气作为动力源，与其他驱动形式相比，避免了产生过热、火焰、火花等情况。

　　(4)可以不受限制地使用于频繁起停的场合。

　　2.气动增压泵的故障分析与解决方法

　　(1)驱动活塞密封件磨损，导致活塞上侧和下侧串气。

　　(2)控制阀损坏，导致换向阀不能正常工作。

　　(3)换向阀太脏，或它的密封件损坏，导致它不能动作。

　　(4)两活塞连接处损坏，开口销脱落，两活塞杆错位，导致活塞杆不能移动。

　　(5)增压缸密封件漏气。

　　增压泵在保证气体高压方面有其重要作用，在高压出口处装上气瓶，可以起到储存和缓冲作用。