轴流分子泵的特点及应用

　　轴流分子泵是在分子流范围工作的涡轮式真空泵，对于与高速运动的固体表面相碰撞的气体分子，给予动量，使其由低压区向高压区产生分子流。具有动叶与静叶，入射到动叶上的气体分子，碰到叶表面后进行反射，通过静叶，进入下一级的动叶。从而叶的圆周速度对于抽气性能非常重要，要求达到气体分子的最大概率速度的1/2左右。通常抽气速率几乎不因气体种类而变动，但却具有气体的分子量越大其压缩比越大的特点。

　　轴流分子泵用油封式机械真空泵或机械增压泵等前级真空泵，把反压力降到分子流范围后使用，它和机械增压泵一样，没有油蒸汽的反流，可以获得所谓的清洁真空。