真空泵按工作原理的分类

　　真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按其工作压强，可分为低真空泵、高真空泵和超高真空泵；按其工作原理，大致可分为下面两大类：

　　1.压缩型真空泵。也称为排除型真空泵。其原理是将气体由泵的入口端压缩到出口端，并排出泵体外。例如，利用膨胀一压缩作用的旋转式机械真空泵、滑阀泵、罗茨泵等；利用气体黏滞牵引作用的蒸汽流喷射泵；利用气体扩散作用的蒸汽流扩散泵；利用分子牵引作用的分子泵等。

　　2.吸附型真空泵。也称俘获型真空泵。其原理是利用各种吸气作用将气体吸附在泵体内以达到降低气体压强的目的。例如，利用电离吸气作用的离子泵；利用物理或化学吸附作用的吸附泵、低温冷凝泵和吸气剂泵等。在这类泵中，气体分子并不排出泵外，而是被永久储存或暂时储存于泵内。

　　任何真空泵，在其工作时除了抽气因素外，总是存在着与抽气相矛盾的因素。例如，气体经压缩后的反扩散、气体分子从表面的脱附等，这些现象称为真空泵的返流。只有在抽气作用强于返流时，泵才能有效地工作。因此，每种泵都有自己的有效运用压强范围及固有特点。设计、制造及运用各种真空泵都是以加强抽气作用、抑制返流为目的的。

　　有些泵可以直接在大气下开始工作，如机械泵和吸附泵；有些泵不能从大气开始，如扩散泵、分子泵、离子泵等，这时就必须辅以满足一定要求的前级泵，提供其正常工作所需要的真空度。因此，真空泵按其在真空系统中的角色还可以分为主泵、前级泵、辅助泵等。前级泵有两个作用：一是为高真空泵的运转提供初始环境，因为高真空泵通常不能在大气压下运转；二是在高真空泵运转时，前级泵帮助把高真空泵排出的气体排到大气中去。