扩散泵加热功率的调整方法
扩散泵生产厂家和用户都希望泵在最佳功率下工作,这时蒸气流的速度和密度最理想,从而能使泵的抽速最大,极限压力最低,返油率最低等。想要同时满足这些条件是很难办到的,泵的用户可根据需要调整加热功率。如果没有特殊需要,通常都是从极限压力这个角度人手来调整加热功率。
调整泵加热功率的方法是:在泵的加热器上接一自耦变压器,再接一功率表,或串联一电流表,并联一电压表(电流表量程视加热功率大小而定)。把泵抽至极限压力后,调加热电压,使极限压力降低,等稳定后,记下电离真空计指示的最小极限压力时的加热功率数值(或此时电流电压值的乘积),即可认为是加热功率的最佳值。这种方法是很粗糙的,但对工程使用来说是简单而方便的。
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