油扩散喷射真空泵的特点及应用

　　油扩散喷射泵又称油增压泵，其工作压力范围为10～10^-2Pa。这个压力范围正好是高真空油扩散泵和油封式机械泵抽气能力下降的中间地带，油封式机械泵的抽速随压力降低而明显地减小，在10^-1 Pa时实际抽速几乎为零；而大多数油扩散泵在此压力范围内抽速也很小。在1～10^-1 Pa工作压力范围内，油增压泵恰好具有较大的抽速。因此，油增压泵除用做主泵外，常用到大型油扩散泵的出口处，来增加其出口压力，使前级机械泵能有效地工作，故称其为油增压泵。

　　油增压泵与油扩散泵相比，相同口径的泵，其加热功率高2～5倍，抽气量高4～20倍，泵的功能不同，泵油性能不同，但其抽气机理基本相同。

　　油增压泵广泛用于真空熔炼设备。真空热处理设备、真空干燥、浸渍和蒸馏等设备。