蒸汽扩散泵和喷射泵的使用
蒸汽扩散泵和喷射泵,不论单独使用,还是相互组合,或者与大量用于真空冶金过程或试验设备的其他类型的泵组合使用,工作压强的范围和作业的规模,是选用真空泵的重要标准。
蒸汽泵可用于抽空所有型式的熔炼、浇注、烧结、钎焊、热处理或脱气的真空炉。亦可用于某些钢液的脱气设备,以及金属精炼、晶体拉制、薄膜蒸发沉积和电子束焊接等设备中。还用于气体分析装置的抽气系统。
一种大型的单一设备,可采用同一泵的多路抽气系统,但有时蒸汽喷射泵必须与扩散泵并联,以保证在一个很广的压强范围内,有高的抽气速度,或者将喷射泵安装在扩散泵和机械前级泵之间,以提高气体进入机械泵之前的压缩程度。类似将蒸汽泵与罗茨泵组合起来的混合系统已有使用。
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