油增压泵的特点及应用

　　油增压泵和油扩散泵的工作原理基本相同，均是油蒸汽流泵。两种泵均需要有预真空环境，也均不能直接向大气排气，需要有前级泵。油蒸汽泵的结构相当简单，维修和安装都很容易。由于没有机械磨损零件，其振动和噪音几乎可以忽略，使用寿命也很长。由于是利用蒸汽流带动气体分子排气，因此对越是分子量小的气体，其抽气能力就越大。

　　增压泵的功率比扩散泵要大。增压泵用于较大的环境和获取较高真空度，扩散泵用于较小环境和获取超高真空度。

　　真空泵油易于氧化，不应长时间暴露在大气环境中。使用后必须首先关闭通向真空室的管道阀门，以防真空室放气阀开启时，因压力急变导致真空泵油受激溅入真空室使之污染。使用后需待主泵中的泵油冷却后才可停止前级泵的运转，否则因主泵排气口处压力增高而侵入的空气将使高温的真空泵油严重氧化。

　　此类泵在泵油被加热开始蒸发和冷却循环后才进入正常的工作状态，因此启动较慢、此外油蒸汽难免会有少量进入真空室，这对某些工艺是不允许的。