螺杆式真空泵的基本结构及特点
螺杆式真空泵与螺杆式压缩机的工作原理相同。适用于化工、制药、航天航空等需要清洁抽气的环境。其基本结构有螺杆式真空泵和矩形螺旋式真空泵两种:
1.螺杆式真空泵。在螺杆式压缩机中,螺旋转子的螺旋圈数在1圈以上,而螺杆真空泵的螺旋转子的螺旋圈数在2圈以上。这样可以减少返流量,提高压缩比。单级泵可从105 Pa抽到1Pa的极限压力,通常抽速为60~120m3/h。
2.矩形螺旋式真空泵。它由矩形断面的右螺旋和左螺旋的一对转子相啮合,由同步齿轮带动实现非接触式的高速运转,气体由上侧进入,在泵腔内压缩,由转子下端排除,转子旋转一周排气一次。由于转子和泵体内表面形成一种螺旋密封结构,矩形断面间隙泄漏较少,加上它的螺旋圈数多,故可以得到比螺杆式泵较高的压缩比。这种泵可从105Pa抽到极限压力10-1Pa,通常抽速为40~80m3/h。
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