真空抽气系统主泵的选择原则

　　真空抽气系统设计的关键问题是选择真空机组的主泵，选择条件及原则为：

　　(1)根据真空室所要求的极限压力确定主泵的类型。一般主泵极限压力的选取要比真空室的极限压力低半个到一个数量级。

　　(2)根据系统进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵。应正确地选择主泵的工作压力点，在其工作压力范围内，应能排除真空工艺过程中产生的全部气体量。因此，系统的工作压力一定要在主泵的最佳抽速压力范围之内。

　　(3)根据真空室的容积大小和要求的抽气时问选主泵。真空室体积大小对于系统抽到极限真空的时间有影响。当抽气时间要求一定时，若真空室体积越大，则主泵抽速也越大。

　　(4)若真空系统严格要求无油时，则应该选各种无油泵作主泵。如果要求不严格，则可选择有油泵，然后加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

　　(5)选择真空泵时，应该知道被抽气体成分，针对被抽气体成分选择相应的泵。如果气体中含有腐蚀性气体、颗粒灰尘等，则应该考虑选择干式真空泵、耐腐蚀真空泵等。或在泵的进气口管道上安装辅助过滤装置。

　　(6)根据整套真空系统的初次投资和日常维护费用等经济指标综合考虑选择主泵。