真空泵在各种不同工作领域中所起的作用

2016年08月28日 09:30 返回

　　由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空这一共同点之外，尚有一些不同之处，因此在选用时，必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的。根据不同的抽气能力和工作环境，确定泵在各种不同工作领域中所起的作用，总体上可以分为以下几个方面：

　　(1)主泵。就是真空系统对被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺所要求真空度的真空泵。

　　(2)粗抽泵。对系统进行抽真空直到系统压力降低到另一抽气系统开始工作的真空度。

　　(3)前级泵。它是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。

　　(4)维持泵。它是指当真空系统抽气很小时，不能有效地利用主要前级泵，为此，在真空系统中配置一种抽气速度较小的辅助前级泵以便维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。

　　(5)粗(低)真空泵。它是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。

　　(6)高真空泵。它是指在高真空范围工作的真空泵。

　　(7)超高真空泵。它是指在超高真空范围工作的真空泵。

　　(8)增压泵。通常指工作在低真空泵和高真空泵之间，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。