吸附泵的工作原理及特性

　　吸附泵能够将真空室的气压从大气压抽到中真空范围内，其工作原理是气体在分子筛表面的物理吸收，经常使用的材料是沸石(一种碱性铝硅酸盐)。

　　孔隙的表面积大约为每克10³m²。沸石13X的孔隙直径接近水蒸汽、油蒸汽和大气体分子的大小。因此，大分子容易被吸附，而氢、氦和氖等小气体分子不容易被吸附。

　　气体的吸收与压强和温度有关。注意，氮吸收量与氖或氦吸收量之间的差别至少达4个数量级。

　　实际上，氢气和氦气通常存在于从微波管中排出的气体中。这是因为在钎焊过程中使用氢气作保护气氛，以及在惰性气体保护焊中常使用包含氦气的惰性气体。由于通常存在氢气和氦气，所以在使用吸附泵时要谨慎。因为泵经常在黏性流范围内工作，氢气和氦气容易被沸石随气体抽出。当抽气过程发生十分快时，氢气和氦气能被带入吸附泵中，然后，在氢气和氦气扩散回被抽容器前，可以关闭阀门。

　　将吸附泵浸入液氮中可使它获得较大的抽气能力。为了使沸石在抽气后恢复活性，可将吸附泵加热到室温。气体从沸石中释放出来，通过排气口从泵中排出。如果大量的水蒸汽或其它可压缩液体被吸附泵抽出，那么有必要将沸石在不低于200℃的温度下烘烤几个小时。