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容积吸气剂泵的工作原理及特点

2016年08月25日 09:39   返回
  吸气剂可分为二类,一是常温下活性金属如钡合金等的表面吸气;另一类是高温下活性金属如锆等的容积吸气。前一类主要依靠表面薄膜吸气,后一类主要依靠吸气材料容积内部的吸气。吸气泵是利用吸气材料的容积吸气。
  容积吸气剂泵的结构,有点象钛升华泵,但它并不要求供沉积钛的大的表面,所以更简单些。将吸气材料(锆、铝合金粉)辗压在片条状的基金属上,采取直接通电或用辐射加热的办法,使吸气剂达到工作温度,吸气剂即能大量吸气,其工作温度约为400℃。使用几次后,如表面出现饱和,可激活一次,激活温度为800~900℃。激活一般在优于10托的真空度下进行。激活后泵的抽速可以恢复,但是引起再饱和的气体量比激活前的显著减少。如有需要,可继续进行激活,照此循环下去,直至经激活后不再维持足够的抽速,这时泵的总吸气量称吸气容量。
  容积吸气剂泵的极限压强一般为10-8托数量级,最终数值决定于氢的分压强。
  锆铝吸气剂对氢的吸收特别有效,甚至在室温下,也能维持l升/秒的抽速。它常被用作在压强范围为1~10-6托的辅助泵,也有用来代替溅射离子泵,对电子管进行排气的。
  容积吸气剂泵的特点是具有高的抽速和容量,特别是对H2,并有宽广的运用压强范围,使用时较为简单可靠。它对荷能质点的碰撞、射线的照射以及放射性物质的存在,都不会影响到容积吸气剂泵的特性,故它特别适合于核聚变和等离子物理研究的装置中使用。
  在超高真空环境下,许多真空用金属材料放出的气体中,主要是H2,而溅射离子泵在10-8托以下时,由于H2的溅射产额低,故抽速较低。如用锆铝吸气剂泵与之配合,就能收到良好的效果。
 

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