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钛升华泵的工作原理及应用

2016年08月24日 09:54   返回
  许多金属元素,如钽、钛、钼、钡、钨等在真空中加热升华(或蒸发)形成的沉积薄膜,分别对不同的气体具有不同的化学吸附性能。其中以钽的吸气性能最好,其次是钛和钼。但钽和钼需要很高的蒸发温度,故常用钛作为吸气材料。钛升华泵便是利用这种特性对气体抽气的装置。钛膜只能吸附活性气体(氮、氧、一氧化碳、氢等),而不能吸附惰性气体(氦、氖等)。且钛膜温度愈低,其吸气性能愈大;钛膜表面积愈大,吸附的气体分子数愈多。因此,钛升华泵常采用泵壁被液氮冷却、钛连续升华(在超高真空范围内,为节省钛,可间断升华),以不断获得新的冷却钛膜,对气体吸附、覆盖、吸附之形式来抽气.目前常用的钛蒸发器有钛丝缠绕式、钛钼合金丝式、薄壳钛球式、电子轰击式等。
  钛升华泵常用作大型真空系统的主泵。目前抽速可达每秒数万升以上,工作压强范围为10-3~10-11乇以下。另外,它常与溅射离子泵组合使用,升华泵专抽活性气体,溅射离子泵则抽除惰性气体,并在真空度较低时,短时间点燃升华泵的大量升华钛,使压强迅速下降,以助溅射离子泵启动。
 

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