检验真空泵性能的主要参数有哪些?
真空泵在工作过程中所表现出的工作状态,能够反应该泵的优劣特性。对于真空泵现已规定方法来检验其性能,其主要参数有以下几种:
(1)极限压力。极限压力对于真空来说也叫极限真空度,是在没有负载的条件下获得的最大真空度,是把容器与真空泵相连,进行长时间的抽气,当容器内气体压力值稳定时,此压力即为极限压力。
(2)流量。在真空泵吸气口处,单位时间内流过气体量称为泵的流量,在真空技术中,流量=压力×体积/时间,单位为Pa·m3/s,通常要给出泵的流量与人口压力曲线的关系。
(3)抽气速率。其单位是m3/s或L/s,是指泵装有标准试验罩,并按规定条件工作时,从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比,或者说在泵的吸气口处,单位时间内流过气体的体积称为泵的抽气速率,简称泵的抽速。
(4)真空泵的启动压强。其单位为Pa,它是指泵无损坏启动并有抽气作用时的压强。
(5)泵的前级压强。其单位为Pa,它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。
(6)真空泵的最大前级压强,其单位为Pa,它是指超过了能使泵损坏的前级压强。
(7)真空泵的最大工作压强,其单位为Pa,它是指对应最大抽气量的入口压强,在此压强下,泵能连续工作并保持好的工作状态而不恶化或损坏。
(8)压缩比,它是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
(9)返流率,其单位是g/cm2.S,它是指泵按规定条件工作时,通过泵入口单位面积的泵流质量流率。
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