涡轮分子泵和复合涡轮泵

　　从20世纪70年代后期开始，真空设备已不再是简单地将真空室内部抽成真空，而是抽气后导入各种气体实现化学反应，从而对泵的要求越来越高。这些反应性气体要求有更大的抽气速率的真空泵。因此，改良型分子泵即复合式分子泵开始问世。

　　分子泵也可以看作非常精密的风扇，当然不是简单地把风送出去，而是把气体朝着一个方向排出，实现高真空，它是以尖端的技术为基础的。在实际应用中，高速运动是通过旋转实现的。为了实现高真空，旋转叶片和固定叶片分30组相互叠加组合后置入泵体内，运动时如仔细倾听，可听到高速转动的声音。

　　这种真空泵通电后在短时间内[2(小型)～40min(大型)]即可启动，而且从10Pa到超高真空都能使用，非常方便，分子量越大的气体越能被排出，通常用机械旋片泵作为辅助真空泵使用。因为其属于高速旋转的机械真空泵，因此防震、加热、维护等都需要注意。

　　在对大量气体实现抽气的情况下，分子泵高压一侧采用高速旋转的螺杆形式。随着该螺杆部的高速旋转，气体被向出气处推出，抽气口的压力即使上升也不影响真空泵的抽气，因而抽气压力范围得以向高压方向扩展，也可以实现对大流量气体的抽气。相同口径的真空泵在10Pa(10-1Torr)时抽气速度可以提高数倍。分子泵在对大量气体抽气，特别是真空中有化学反应时，因其没有使用油而不必担心油的变质问题(机械旋片泵等会使油变黏稠)。它还是在对食品等有机物质进行处理时很重要的真空泵。