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制冷机低温泵的用途及分类

2016年07月15日 09:45   返回
  制冷机低温泵将低温面、挡板组装在封闭循环的低温制冷机系统中,与制冷机组合为一体,尤 其近年来,随着可靠性高的小型制冷机商品化,使用带小型制冷机的低温泵越来越多。
  制冷机低温泵的制冷机一、二级冷头直接和辐射屏、冷板相连,在制冷机与压缩机连接管路中 流动的是常温、高(或低)压气体介质,不存在低温介质的输送问题,是目前比较理想的清洁超高真 空泵。这种低温泵广泛用于薄膜制备、微电子学技术、高能物理、小型环境模拟设备以及其他各个 工业领域。为得到超高真空,必须抽除氦、氖、氢等气体,在低温板上涂吸附剂加活性炭等即可达 到目的。
  小型制冷机低温泵外壳结构分为三种类型:
  ①裸式泵,将泵芯直接插入真空室中。
  ②直筒泵,泵体外形为直筒形,是最常见的一种泵。
  ③凸腔泵,泵腔部分扩大,提高了泵的抽速。
  制冷机低温泵可以人为地分为两个部分:真空腔与制冷机。真空腔包括泵壳、屏蔽罩、屏蔽挡板、低温冷凝面与活性炭吸附面。制冷机在此仅仅指内部制冷部件,是制冷机低温泵的核心。
 

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