涡轮分子泵优点和缺点

由于涡轮分子泵在某些方面，要比低温泵、离子泵和扩散泵更有优势。所以在一般情况下，多选用涡轮分子泵。但是任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。接下来将详细介绍涡轮分子泵优点和缺点。

涡轮分子泵优点

1、清洁，无油蒸汽返流

涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何 碳氢化合物。

2、使用方便

在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。从大气 压力可降至极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。

3、气体输送能力强

大多数涡轮分子泵对于输送轻气体的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。

4、适于超高真空应用

一台密封和除气良好的涡轮分子泵，配以性能良好的双级旋片泵（或同样性能的干式前级泵），其极限真空 一般可达到10-9——10-10Torr（即133.3——13.33nPa）之间。

5、高压力下性能良好

有些涡轮分子泵的入口压力可在10-1——10-3Torr（即13.33Pa——133.3mPa）之间运行。在这个压力范围内 ，离子泵不能应用，对于低温泵需要节流抽速或经常再生，对扩散泵的工作也会变得不稳定。

涡轮分子泵缺点

1、设备费用高

考虑到扩散泵系统需要阀门、挡板、阱、阀门控制器和管道等，总的花费来计算，二者的差别也就不大了，在某些情况下，涡轮分子泵还是便宜的选择。

2、对颗粒物或沉积物敏感

一旦出事故损坏就是严重的，不会有几件回用的。重修、更换零件是很贵的。为了工作安全起见，在泵入口处装上细孔眼的过滤网，以保护泵的正常运转。

3、噪音与振动

从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。

4、破碎问题

有些用户由于害怕转子叶片破碎而不敢使用涡轮分子泵，破碎是在泵正常运转时，叶轮突然遭到吸入异物或 轴承磨损而出现破碎的。

5、暴露大气易引起事故

如规管破裂，入口处管道、阀门、密封出现问题，都可能突然使真空泵入口暴露在大气压之下。不同型号的涡轮分子泵，耐大气压冲击的能力是不同的。有些泵会因叶片共振弯曲相碰而损坏，但也有些泵受大气冲击而不损坏。

要想涡轮分子泵有较长的工作寿命和最佳的运转性能，用户一定要按操作规程和使用步骤进行，应该发挥它的优点和尽量避免它的缺点。

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