常见干式真空泵的构造及抽气特性

　　多级罗茨真空泵、多级爪型真空泵、螺杆式真空泵、涡旋型真空泵及组合式真空泵是几种常见的干式真空泵，因其构造和工作原理不同，所以，它们的抽气特性也不同。

　　1.多级罗茨真空泵。罗茨式是最早出现的干式真空泵，在设计理念上就是多个罗茨泵的叠加。这种结构使得气体通路长而复杂，导致冷凝物的堆积，同时被化学气体腐蚀的可能性大大增加。由于是多级设计，级与级之间又多采用密封，从而使得维修工作比较麻烦。

　　2.多级爪型真空泵。它采用了形状复杂的爪型转子。这种泵也类似罗茨泵型式，两个转子与泵体之间形成泵腔的抽气容积，吸气口和排气口是固定在上下端盖的侧面上，由转子旋转过程中自动开关。沿轴向逆流少。因此在高压区它的压缩比要比罗茨泵的压缩比高。由于这种泵的吸气口和排气口安置在泵腔的侧壁上，多级连接起来很方便，气道流畅，泵内腔压力变化平缓，有利于防止可凝性气体的凝结。为了防止可凝性气体在泵内的凝结，也要向泵腔内通净化气体。

　　3.螺杆式真空泵。干式螺杆真空泵是20世纪90年代初期出现的一种理想的泵种，其结构紧凑，抽速大，真空度高，可直排大气，工作部件无摩擦，寿命长。在螺杆式压缩机中，螺旋转子的螺旋圈数在一圈以内，而螺杆真空泵的螺旋圈数在2圈以上，这样可减少返流量，提高压缩比。

　　4.涡旋型真空泵。涡旋型干式真空泵根据其转动方式不同，分为两种型式：一种是一个涡旋固定不动(称为静涡旋)，另一个涡旋围绕着它公转平动而不能自转(称为动涡旋)的公转型；另一种是两个涡旋同步同方向各自绕自身轴转动的回转型，它的两个涡旋都是动涡旋。

　　涡旋型真空泵的气体从周边吸入向中心压缩，由中间排气，实现连续吸气、压缩和排气的整个抽气过程。这种泵压缩平稳、驱动力矩变化小，故振动小、噪声低，相邻的两个月牙腔容积的压差小，故间隙泄漏也小，而且端面有密封，可得到较高的压缩比。

　　5.组合式真空泵。组合式真空泵指的是罗茨型干式真空泵和爪型干式真空泵的组合。

　　组合式(罗茨+爪)设计用罗茨来提高在较低压力下的抽气效率，用爪来提高在较高压力下的抽气效率。它的基本原理和气体通路与圆裂片式设计完全相同。也有将其最后一级改为星型设计，这样可以在旋转一圈中将气体分为5份，就像三圆裂片式设计可以将其分为3份。同样，在很多工艺中，组合式设计的每一级都需要较大流量的氮气起到稀释和隔离作用。

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