蒸汽流扩散泵的分类

　　蒸汽流扩散泵可根据工作液不同；结构材料不同和结构形式不同分类。

　　按扩散泵的工作液分类有汞扩散泵和油扩散泵两种。汞对人体有害，而且汞的饱和蒸气压高，即使加冷凝器它的极限真空也比不上油扩散泵。因此目前大量使用的是油扩散泵，汞扩散泵仅用于被抽容器中存在汞蒸气的特殊情况(如荧光灯的排气系统中)。

　　按扩散泵的结构材料分类有金属扩散泵和玻璃扩散泵两种。玻璃扩散泵抽速较小，最大每秒仅有几百升。但是玻璃扩散泵制造简单，泵体本身以及与真空系统连接的地方都有可靠的气密性，还有玻璃的透明性，可以用眼睛直接观察扩散泵的工作状态，所以在电光源生产上有着广泛的应用。金属扩散泵的抽速可以做得小，也可以制得较大，最大可达每秒十多万升。

　　按结构形式分类有立式泵和卧式泵；单级泵和多级泵。目前使用最多的是三级和四级立式扩散泵。

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