蒸汽流真空泵事利用高速气流与空气之间的流体力学相互作用形成负压而抽气的装置，主要有水蒸汽喷射泵、油扩散泵、油扩散喷射泵等类型。
喷射泵是由工作喷嘴和扩压器及混合室相联而组成的。工作喷嘴和扩压器这两个部件组成了一条断面变化的特殊气流管道，气流通过喷嘴可将压力能转变为动能。工作蒸汽压强和泵的出口压强之间的压力差，使工作蒸汽在管道中流动。
在这个特殊的管道中，蒸汽经过喷嘴的出口到扩压器人口之间的这个区域(混合室)，由于蒸汽流处于高速而出现一个负压区。此处的负压要比工作蒸汽压强和反压强只低得多。此时，被抽气体吸进混合室，工作蒸汽和被抽气体相互混合并进行能量交换，把工作蒸汽由压力能转变来的动能传给被抽气体，混合气流在扩压器扩张段某断面产生正激波，波后的混合气流速度降为亚音速，混合气流的压力上升。亚音速的气流在扩压器的渐扩段流动时是降速增压的。
油扩散泵、油扩散喷射泵的工作原理与水蒸汽喷射泵相似，都是靠高速蒸汽射流来携带气体以达到抽气的目的，故有与水蒸汽喷射泵相似的特点。不同点是扩散泵工作在高真空区域，其工作压强范围为10-2～10-6Pa，广泛用于电子、化工、冶金、机械、石油及原子能等工业部门中。
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