容积吸气剂泵的工作过程及特点
发布时间：2016年08月24日 09:10 阅读：4597
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在金属片的两面分别被覆上50微米厚的极活泼的锆-铝合金(一种气体易向其内部扩散的活性非蒸发吸气剂)，将该金属片弯曲成具有许多折叠的圆筒(以增大吸气剂的有效表面积)，沿圆筒的轴线设置一热丝即成容积吸气剂泵。
工作过程是：将容积吸气剂泵与真空容器直接相连，在真空中给热丝通电加热到850～900℃，并保持10分钟，借其热辐射进行活化处理，以后在400℃工作温度下靠锆-铝合金表面层对气体的表面局部化学吸附、表面扩散、内部扩散等，使气体固溶于金属晶格中进行抽气。抽气达到饱和后，再加热(最低温度需750℃，5分钟)，即可恢复抽气能力。
这种泵的特点是：
(1)可用来补充溅射离子泵对活性气体的抽速。工作时锆铝吸气剂不蒸发，工作温度低，因此真空洁净。另外，不用液氮即可在短时间内获得超高真空。
(2)与溅射离子泵相比，虽然溅射离子泵较易获得10-11乇真空度，但容积吸气剂泵在10-7～10-10乇范围内抽气较稳定。
(3)宜作溅射设备的抽气泵，对溅射电极放出的活性气体进行选择抽气。另外，当通入的稀有气体欲在高压强中进行纯化时，也宜用容积吸气剂泵抽气。
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