涡轮分子泵的运用
发布时间：2016年08月18日 09:37 阅读：4460
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涡轮分子泵正常工作需要小于10Pa的前置压强，可用旋片式机械泵作为前级泵。涡轮分子泵有一专用的中频电源，对泵内的电动机供电，接通中频电源后，几分钟内可使泵的转速到达额定值。泵的额定转速因型号而异，一般在30000～50000r/min内。立式泵需要垂直放置，泵内承受高速旋转的轴承，需要通以冷却水冷却。近年来出现了不使用水冷而使用风冷、且可以水平放置的立式涡轮分子泵，使用更方便。
为达到分子泵的极限真空，应对被抽容器和泵体进行烘烤。因泵内的级间连接部分是用橡胶密封的，故泵体的烘烤温度不能太高，为100～120℃。真空系统充分除气后可得到10-6～10-7Pa的极限压强。
涡轮分子泵对分子相对质量大的气体压缩比大，故极限真空主要决定于分子相对质量小的气体成分，如H2、He等。此外，容器及泵体放出的水汽也是影响极限真空的重要因素。
由于具有高速旋转的部件，涡轮分子泵不能在磁场下运用，因为这会产生涡流导致发热、叶片变形等效果。一般允许的杂散磁通密度为0．004～0．0llT。
涡轮分子泵内各轮叶之间、动轮叶与泵壁之间的空隙都只在lmm左右，因此工作时应严格防止异物进人泵内，避免高速旋转的铝制叶片被打坏。
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