扩散泵加热功率与使用性能的关系
发布时间：2016年04月22日 09:22 阅读：5274
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扩散泵的加热功率不属于泵的主要性能指标，但它对于泵的使用性能和比功耗关系很大。扩散泵的每一项性能指标，都对应一个最佳的加热功率值。不同的工作液和抽出的不同种类的气体，加热功率最佳值也不一样。
1.加热功率与抽速的关系
如果加热功率小于最佳值，蒸气射流速度和密度不够大，被抽气体容易反扩散，因而抽速较小。如果加热功率超过最佳值，蒸气射流密度过大，被抽气体不易往蒸气流中扩散，蒸气流速度过大，撞击到泵壁上来不及冷凝而反溅射，再加上油蒸气热分解形成的无规则运动，都会使油速减小。对于质量较轻的气体，反扩散较严重，需要较大的蒸气流密度来防止反扩散，因而抽速峰值移向加热功率较大的方向。
2.加热功率与极限压力的关系
加热功率过大，油蒸气热分解加重，反油率变大，使极限压力上升。加热功率过小，油蒸气边界层分子无规则热运动量增加，造成返流加大，也会使极限压力升高。因此有个加热功率的最佳值。
3.加热功率与出口压力和返油率的关系
扩散泵的出口压力主要靠泵的最后一级(或喷射级)喷嘴喷出的蒸气射流的速度和密度来实现，加热功率大，则蒸气射流的密度和速度都加大，射流的强度增高，耐压能力增强，因此泵出口压力随加热功率单值上升。
前面已经提到加热功率对返油率的影响，对于已经调整好顶喷嘴间隙的泵，可调整加热功率，使返油率达到最低值。调整顶喷嘴间隙，返油率随加热功率变化，间隙愈小，返油率愈小，且分别有最佳加热功率值。
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