扩散泵是目前获得高真空的最广泛、最主要的工具之一。
扩散泵机组特点
JKT、JK系列油扩散真空泵机组是用来获得高真空(10-2—10-5Pa)的主要设备。它以油扩散泵为主泵和阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵(前级泵)等组成高真空抽气系统，可获得(10-2—10-4Pa)的工作真空度。扩散泵机组的特点是抽气能力大，抽速从190L/S至49000L/S范围内可供选择;并可长时间稳定连续工作。
扩散泵机组用途
它被广泛地应用在电子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等高科技领域。如各种真空炉、真空镀膜设备、真空冷冻干燥设备等。典型真空机组是用气动阀门程序控制。
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