真空泵的性能在很大程度上决定了真空系统的性能，在选用真空泵时，应考虑以下几点原则：
(1)能否获得所需要的工作真空度和极限真空度。
(2)对被抽气体是否有足够大的抽速。
(3)真空系统的残余气体成分是否合乎要求。
(4)设备价格和维持运行费用的高低。
(5)可靠性和操作难易程度。
扩散泵系统是比较常用的高真空系统，一般可以获得10-1～10-5Pa的工作真空，使用特别设计的扩散泵及采用性能良好的扩散泵油，再在泵的人口端使用挡油板和液氮冷阱，加以充分的烘烤除气措施，可以获得10-7Pa的极限真空。扩散泵系统的特点是对各种气体都能抽除，适宜长时间连续工作，扩散泵没有噪声，价格比较低。缺点是开启或停止系统工作很耗时，工作效率低，油污染严重。
用机械泵作为前级泵的涡轮分子泵系统，是目前常用的高真空系统，有取代扩散泵系统的趋势。分子泵系统可以获得10-1～10-6Pa的工作真空，可达到lO-8Pa的极限压强。分子泵系统的优点：对各种气体的抽速差别不大，起动快、油污染很轻，称之为半无油系统；能耗较低，容易做到自动控制。缺点：价格较高，颗粒物落人泵内容易损坏。适用于要求油污染少且连续排除中等流量气体的场合。
建立全无油的超高真空系统，可以采用溅射离子泵和低温吸附泵组成的系统。这种系统可以获得10-3～10-9Pa的清洁真空，主要残余气体是H2。但这种配置由于吸附泵的排气量有限，起动不方便，不适用于抽除气体量大和频繁起动的场合。如果用机械泵串联挡油吸附阱代替吸附泵，可以克服吸附泵排气量小的缺点，但代价是丧失了全无油的优点。溅射离子泵系统的缺点是对惰性气体的抽速很小，不适用于抽除以惰性气体为主的负载气体，另外其价格也较高。
钛升华泵的特点是极限真空度高，可以达到10-9Pa，对活性气体的抽速很大，但对惰性气体的抽速为零，因此它不适用于作为经常要排除空气的真空系统的主泵，而适于在扩散泵、分子泵、溅射离子泵系统中作为提高极限真空度的辅助泵使用。
低温冷凝泵是目前所有的真空泵中抽速最大、工作压强范围最宽、极限真空度最高(气氦制冷机低温冷凝泵可以达到10-10Pa，液氦型低温冷凝泵可以达到10-13Pa)的真空泵，而且可以抽除所有气体，能获得全无油清洁真空。由于具有这些突出的优点，气氦制冷机低温冷凝泵在需要大抽速、超高清洁真空的半导体、新型显示器件及其他高科技研究和产业中获得了日益广泛的应用。低温冷凝泵的缺点是价格很高，运行中需要再生而不能长期连续抽气。
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