扩散泵的三大性能要素
发布时间：2015年11月25日 09:31 阅读：6017
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扩散泵是一种次级泵，它需要机械泵，目前，扩散泵是最广泛、最主要的获得高真空的工具之一 。作为前级泵。高真空扩散泵主要由泵体、冷却帽、喷嘴、蒸气导流管、加热器和冷却器等组成。
扩散泵中的油在真空中加热到沸腾温度(约200℃)产生大量的油蒸气，油蒸气经导流管由各级喷嘴 定向高速喷出。由于扩散泵进气口附近被抽气体的分压强高于蒸气流中该气体的分压强。这样，被抽 气体分子沿着蒸气流方向高速运动，气体分子碰到泵壁又反射回来，再受到蒸气流碰撞而重新沿蒸气 流方向流向泵壁。经过几次碰撞后，气体分子被压缩到低真空端，再由下几级喷嘴喷出的蒸气进行多 级压缩，最后由前级泵抽走，而油蒸气在冷却的泵壁上被冷凝后又返回到下层重新被加热，如此循环 工作达到抽气目的。
通常扩散泵的性能是以极限真空、最大反压强、抽气速率以及设置冷阱或低温挡板而定。
1．极限真空
如果对一般油扩散泵的结构进行改进，如减少油蒸气的返流，加分馏装置，合理分配加热功率， 改进喷嘴角度设计，加以挡油帽、障板或冷阱、吸附阱等，就能使扩散泵性能大大改善，极限真空可 达到更低的压强。
2．最大反压强
最大反压强是指扩散泵所允许的前置压强最大值。如果前级泵所产生的压强高于最大反压强，则扩 散泵就不能正常工作。
3．抽气速率
扩散泵的抽速可根据气体分子运动理论来推算出来，故称为理论抽速s理。
A：为扩散泵喷嘴到泵壁所形成的环形面积。
T：为被抽气体进扩散泵时温度。
m：为气体的分子量。
实际上理论抽速是很难达到的，其原因除工作蒸气流速受到限制以外，还因为抽气机的进气套管 与进气口具有流阻，同时气体分子并不是全部都能很好地扩散入蒸气流中。部分气体分子与蒸气分子 相碰撞时，可能反射回去，甚至未能被蒸气流捕集。
表示抽气机设计结构与运用情况的好坏，可用抽气机的实际抽速与理论上最大抽速的比值H来反应 ，这个比值是由我国何增禄先生首先提出的，因此称为“何氏系数”。
一般好的扩散泵的何氏系数不过是0.4左右。
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