罗茨真空泵工作原理
发布时间:2015年11月06日 01:36 阅读:7028
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罗茨真空泵工作原理
罗茨真空泵(简称罗茨泵)是一种旋转式变容真空泵。它是由罗茨鼓风机演化而来的。依据罗茨真空泵工作规模的不同,又分为直排大气的低真空罗茨泵;中真空罗茨泵(又称机械增压泵)和高真空多级罗茨泵。个别来说,罗茨泵具备以下特征:
在较宽的压强规模内有较大的抽速; 起动快,能立刻工作; 对被抽气体中含有的灰尘和水蒸气不敏感; 转子不用光滑,泵腔内无油; 振动小,转子动均衡条件较好,没有排气阀; 驱动功率小,机械摩擦丧失小; 构造紧凑,占空中积小; 运转保护用度低。
罗茨泵的构造如图所示。在泵腔内,有二个“8”字形的转子互相垂直地装置在一对平行轴上,由传动比为1的一对齿轮带举措彼此反向的同步旋转静止。在转子之间,转子与泵壳内壁之间,维持有肯定的间隙,能够完成高转速运行。因为罗茨泵是一种无内收缩的真空泵,通常收缩比很低,故高、中真空泵须要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵自身构造和制作精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联运用。
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机类似。因为转子的一直旋转,被抽气体从进气口吸进到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。因为吸气后v0空间是全关闭状况,所以,在泵腔内气体没有收缩和收缩。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,因为排气侧气体压强较高,则有一局部气体返冲到空间v0中往,赌气体压强突然增高。当转子继承转动时,气体排出泵外。
如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气历程。在0°地位时(图中a),下转子从泵出口封进v0体积的气体。当转到45°地位时(图中b),该腔与排气口相通。因为排气侧压强较高,引起一局部气体返冲过去。当转到90°地位时(图中c),下转子封进的气体,连同返冲的气体一起排向泵外。这时,上转子也从泵出口封进v0体积的气体。当转子继承转到135°时(图中d),上转子封进的气体与排气口相通,反复上述历程。180°(图e)地位和0°地位是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。
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